中科富海氪氙精制装置成功投产

近日，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海气体科技有限公司投资建设的氪氙精制装置一次开车成功，产出的氪气、氙气纯度99.9999%以上，均高于国标高纯氪氙标准。

安徽中科昊海气体科技有限公司成立于2019年1月，位于安徽省阜阳市颍东区，主要投资建设高纯特种电子气体项目和高端绿色氢能项目。其中高纯特种电子气体项目首期工程建设一套20Nm3/h氖氦精制装置和一套400Nm3/h氪氙精制装置。其中，氖氦精制装置于2020年底完成安装，3月调试一次开车成功，氦氖产品纯度99.9999%；氪氙精制装置于2021年初完成安装，日前一次调试成功，产出氪氙产品纯度99.9999%。至此，中科富海氖氦氪氙精制装置已全部实现成功投产，助力半导体等高精尖产业的快速发展。

中科富海****采用自主研发、独立设计、成功集成氦氖氪氙精制装置。该装置采用整体撬装式结构，所有组件在工厂内一次整体安装完毕，并经严格检漏后出厂，大大减少现场施工量，有效保证产品制造质量。

氦氖氪氙装置的成功投产，成为中科富海在稀有气体领域的重大突破与重要里程碑，将满足我国航天、医学、电子、暗物质研究等领域应用发展需求。（气体分离）

来源：CGMA

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